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原子層沉積技術及運用

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原子層沉積技術及運用

       第八屆中國功能材料及其應用學術會議——在本報告中中國科學院微電子研究所的夏洋研究員爲我們詳細的介紹了ALD技術及設備，分別對ALD薄膜生長過程及特徵、ALD與PVD、CVD間的區別進行了詳細的講解。

嘉 賓 ：

研究員 夏洋

關鍵字 ：

ALD技術 ALD薄膜 原子層沉積技術 薄膜材料

視頻年代：2013


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