原子层沉积技术及运用
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原子层沉积技术及运用
第八届中国功能材料及其应用学术会议——在本报告中中国科学院微电子研究所的夏洋研究员为我们详细的介绍了ALD技术及设备，分别对ALD薄膜生长过程及特征、ALD与PVD、CVD间的区别进行了详细的讲解。
Guests ：
研究员 夏洋
Keyword ：
ALD技术 ALD薄膜 原子层沉积技术 薄膜材料Year：2013
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第八届中国功能材料及其应用学术会议——在本报告中中国科学院微电子研究所的夏洋研究员为我们详细的介绍了ALD技术及设备，分别对ALD薄膜生长过程及特征、ALD与PVD、CVD间的区别进行了详细的讲解。
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ALD技术 ALD薄膜 原子层沉积技术 薄膜材料Year：2013
